多晶硅行业会产生哪些有毒气体？
2022-05-19 16:11:31
多晶硅的生产工艺主要由高纯石英(经高温焦碳还原)→工业硅(酸洗)→硅粉(加HCL)→SiHCL3(经过粗馏精馏)→高纯SiHCL3(和氢气反应CVD工艺)→高纯多晶硅
主要产生气体：HCL，一氧化碳，氢气等等。可以根据现场情况选用盐酸报警器、一氧化碳报警器、氢气报警器等，也可以来电咨询：13573772244
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多晶硅的生产工艺主要由高纯石英(经高温焦碳还原)→工业硅(酸洗)→硅粉(加HCL)→SiHCL3(经过粗馏精馏)→高纯SiHCL3(和氢气反应CVD工艺)→高纯多晶硅
主要产生气体：HCL，一氧化碳，氢气等等。可以根据现场情况选用盐酸报警器、一氧化碳报警器、氢气报警器等，也可以来电咨询：13573772244
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